近日 ，华南板级封装等新兴泛半导体装备赛道 。及生基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀 、产基
中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，地期集研发 、封顶并持续拓展智能玻璃 、广州公司投资约 10 亿元 ，中微总部整体规划总投资 30 亿元 。华南
及生测试 、产基位于广州增城经济技术开发区的地期中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶 ，项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段 ，封顶向着既定建成投产目标稳步推进 。广州公司PECVD 等微观加工设备研发制造，